示蹤氣體是在研究空氣流動時可以與空氣混合的氣體的總稱，可以在非常低的濃度下測量而本身沒有任何變化。示蹤氣體包括氯仿、二氧化氯、過氧乙酰硝酸酯、氧化氮、二氧化硫、氡氣和汞。由于示蹤氣體的總量非常小，它們的變化范圍可能非常大?？諝獬煞种凶兓畲蟮氖嵌趸迹怨I(yè)化開始以來，其濃度增加了約40%。

　　

　　示蹤氣體監(jiān)測系統(tǒng)提供部件排空、測試壓力、總泄漏測試、示蹤氣體回填，并執(zhí)行排氣過程。集成了一個易于跟蹤的氣體泄漏測試系統(tǒng)，它可以與大多數(shù)質譜儀通信，并為過程控制提供測試結果管理。此外，可以控制泄漏測試系統(tǒng)中使用的基本機器功能，如工具運動控制和條形碼掃描。如果需要更復雜的機器排序，它可以與基于PLC或PC的控制系統(tǒng)集成，提供更過程控制。
 

　　

　　用示蹤氣體監(jiān)測系統(tǒng)檢測泄漏的操作步驟如下。

　　

　　1、將示蹤氣體壓力調節(jié)閥調整到適當?shù)膲毫ΑＨ绻麑⒄{整好的噴嘴浸入水中，每秒鐘會產生2-5個氦氣泡。

　　

　　2、在任何時候，首先檢查真空系統(tǒng)中要消除的部件與質譜儀檢漏儀的測試氣口之間的所有管道（如配件、管道等）的連接情況。

　　

　　3、從系統(tǒng)或部件的最高點往下開始檢測，以減少氣體漂移。記住，氨氣是一種非常輕的氣體，會上升。

　　

　　4、大面積漏氣檢測。

　　

　　在所有表面、接頭和管道上快速移動探頭，在大面積上噴氦氣。如果檢漏儀沒有反應，說明系統(tǒng)是真空密封的，沒有漏氣。如果檢漏儀有反應，等待檢漏儀恢復（排空氦氣），然后確定泄漏位置。

　　

　　注意：噴灑過多的氦氣會增加真空室中空氣的背景含量，導致質譜儀檢漏儀的基數(shù)增加。如果過量的氨氣被噴到真空室外，可以用壓縮空氣來驅散它。如果真空系統(tǒng)中的氨氣已經飽和，應使用氮氣或氬氣進行沖洗。

　　

　　5、縮小泄漏范圍的方法（泄漏的局部位置）。